مصاحبه با مخترع دستگاه PHCVD
این دستگاه (PHCVD) یا رسوب نشانی شیمیایی از بخار به كمك پلاسما ، برای لایه نشانی نانو لوله های کربنی وهیدروژن دهی پلاسمایی مورد استفاده قرار می گیرد.
(از نانولوله های کربنی در تولید لامپ های کم مصرف، ذخیره کننده در پیل سوختی و همچنین در ساخت نانوماشین ها استفاده می شود.)
ناحیه گرمایی داخل محفظه به سه رآکتور تقسیم می گردد و اپراتور قادر است با برنامه ریزی دما، فشار ودر صورت نیاز قدرت پلاسما، لایه نشانی و ورود گازها به سیستم را برنامه ریزی کند. برای این دستگاه دو کنترل کننده گاز برای استیلین وهیدروژن در نظر گرفته شده است؛ اما این تعداد می تواند به چهار الی پنج گاز شامل گازهای آمونیاک، اکسیژن و آرگون به مجموعه اضافه گردند. درضمن سیستم مجهز به یک لوله رآکتور می باشد؛ اما در صورت درخواست مشتری امکان اضافه کردن دو لوله دیگر بصورت موازی با تیوب اولیه نیز در نظرگرفته شده است که به افزایش قابلیتهای دستگاه منجر خواهد شد.
تبیان: لطفا خودتان را معرفی كنید؟چگونه با زمینه پلاسما آشنا شدید؟
**من سفی الله اكبری افلاكی هستم، فارغ التحصیل متالوژی دانشگاه صنعتی امیر كبیر. بعد از تمام شدن تحصیلات با توجه به پروژه ای كه داشتیم و مربوط به پوشش دهی و مهندسی سطح بود با مقوله پلاسما آشنا شدیم و كارمان را با روش های محیط پلاسما شروع كردیم. با همكاری دكتر مرغوبی بحث و تحقیق در مورد صنعتی كردن نیتروژن دهی پلاسمایی آغاز كردیم. صنعتی شدن پلاسما می تواند بسیاری از مشكلات صنعتی را حل كند.
روش كار به این صورت است كه در یك محیط خلاء قطعات فولاد را قرار می دهیم و وقتی محیط خلاء می شود به وسیله اختلاف پتانسیلی كه اعمال می شود روی صفحات بمباران یونی انجام می شود و سطح قطعات سخت كار می شود كه در صنعت بسیار مهم است. كار تكمیل سطح، پوشش دهی است كه با استفاده از پلاسما انجام می شود و به سمت صنعتی كردن این كار در حال حركت هستیم.
تبیان: آیا تجارب دیگری نیز دارید؟
**بله، عملیات مهندسی سطح گسترده است و پلاسما بخش كوچكی از آن است. در زمینه سخت كاری سطحی قطعات فولادی و بهینه سازی سطح كه اكثر قطعات آن فولاد است در بحث نیتروژن دهی و محیط پلاسما بیشتر ریز شدیم و كارهای بسیاری انجام دادیم.
تبیان:كارایی دستگاه را شرح دهید.
**توضیح را با یك مثال شروع می كنم. چرخ دنده اگر كاملا سخت باشد مثل شیشه ترد است؛ یعنی اولین فشاری كه روی آن بیاید خرد می شود و اگر هم نرم باشد باعث سائیدگی می شود و عمر آن بسیار كم است. به همین خاطر پروسه های مختلفی را انجام می دهند كه مغز قطعه نرو باشد و بتواند بار را تحمل كند و سطح آن سخت باشد.
دو روش وجود دارد كه یكی از آن ها نیتروژن دهی و دیگری پوشش دهی است.با نفوذ نیتروژن به سطح قطعه و یا همچنین ایجاد یك پوشش سخت در سطح قطعه باعث می شوند كه سطح دچار سائیدگی و خوردگی نشود و مغز هم نرمی لازم را رای تحمل بار داشته باشد.
نیتروژن دهی در محیط پلاسما جدیدترین روش است كه گاز نیتروژن را یونیزه كرده و به صورت اتم درآورده و به سطح قطعه نفوذ می دهند.
در بحث پوشش دهی در بخش PHCVD، پلاسما به عنوان یك كاتالیزگر عمل كرده و دما را به زیر 500 درجه می برد كه در حالت CVD دما بالای 800 درجه است و این دما ممكن است برای بعضی از فولادها قابل تحمل نباشد. به راحتی می توان قطعات را در این دستگاه قرار داد و سطح آن را پوشش دهی كرد.
از ویژگی های بارز این پوشش دهی می توان به سختی بالا كه در صنعت به آن سختی الماسه می گویند اشاره كرد.(بسیاری از مته ها، پانچ های برش كه ورق می برند لازم است كه لبه های آن ها فوق العاده تیز باشند به همین خاطر از این پوشش ها بر روی سطح آن ها استفاده می كنند.)
این پوشش ها مانند نیترید تیتانیوم و... كه تركیبات مختلفی هستند دارای سختی و چسبندگی بالایی هستند و می توانند 10 تا 15 برابر كارایی قطعه را بیشتر كنند.
تبیان: این دستگاه در كجا به ثبت رسیده و از سمت چه مراكزی درخواست شده است؟
**این طرح در اداره ثبت اختراع ثبت شده، همچنین در سازمان پژوهش های علمی- فنی و بنیاد ملی نخبگان نیز تایید شده است.
این دستگاه از سمت پژوهشكده مهام، دانشگاه پیام مدرس، دانشگاه مالك اشتر اصفهان، دانشگاه تبریز، دانشگاه صنعتی اصفهان درخواست شده كه یا آن را خریده اند و یا در حال مذاكره هستند.همچنین می توانم به شركت الماسه ساز(در جهت ایجاد برش كاری، مته های حفاری و ...) نیز اشاره كنم.شركت نیرو محركه، سازمان انرژی اتمی نیز از جمله موارد دیگر هستند.این دستگاه در صنایع نظامی و یا در صنعت آلومینیوم نیز به كار می رود.
تبیان: ایده طرح از خود شماست؟
**ایده طرح از من نیست میتوانم بگویم كه ایده ی طرح وارداتی است.
تبیان:مشابه این دستگاه در خارج نیز وجود دارد؟
**بله،2 شركت آمریكایی و ژاپنی عینا همین دستگاه را در اختیار دارند.
اما در ایران مشابهی ندارد.
تبیان: مدت زمان كار بر روی طرح و مقدار هزینه صرف شده چقدر بوده است؟
**این دستگاه در واقع تز دكترای دكتر مرغوبی در استرالیا بود كه پس از ساخته شدن این دستگاه به ایران آمد و ما مشابه این دستگاه را تولید كردیم. این كار از سال 75 آغاز شد و میتوانم بگویم كه پیشینه 15 ساله دارد.
البته بیشترین زمان این طرح بر روی ایجاد یك محیط پلاسما صرف شده است. البته باید بگم كه اگر ما یك محیط خلاء داشته باشیم و دو الكترود درون آن قرار دهیم و اختلاف پتانسیل را اعمال كنیم، پلاسما ایجاد می شود ولی اینكه بدانیم از این پلاسما چگونه استفاده كنیم، مهم است.
هزینه ی بالایی برای این طرح صرف كردیم اما بزرگترین مشكل ما نبودن مشاوره بود و می بایست آزمون و خطاهای بسیاری داشته باشیم.
تبیان: آیا این محصول به سفارش فرد یا شركت خاصی بوده است؟
**ما اولین بار این دستگاه را به سفارش پژوهشكده مهام تولید كردیم.
تبیان: چقدر در این زمینه از شما حمایت شد؟
**درابتدا پژوهشكده مهام با خرید این دستگاه از ما و متقبل شدن تمام هزینه های آن ما را حمایت كردند.
تبیان: آیا ایده و طرح های دیگری نیز دارید؟
**سیستم محیط پلاسما در بحث پوشش دهی به قدری گسترده است كه می توان با كم و زیاد كردن یكسری از تجهیزات كارهای بسیاری را انجام داد. به اضافه اینكه در بحث CVD هم جای كار زیادی دارد كه از شیشه و پلیمر تا سطح های سخت تا را می توان به روش CVD پوشش دهی كرد. اما محصول دیگری در این زمینه تولید نكرده ایم.
تبیان:محصول شما در مقابل بقیه طرح ها چه مزایای دارد؟
**PACVD دمای پایین تری دارد،
* انرژی كمتری مصرف كرده
*گستره كاری آن زیادتر است (نسبت به CVD) PVD، خلاء خیلی بالایی می خواهد و كار كردن با آن كمی مشكل است چون فقط از یك زاویه تابش می كند قطعه باید بچرخد و مسئله چرخاندن قطعه و اینكه پوشش یكنواخت انجام شود كار مشكلی است اگر شكل قفس پیچیده باشد پوشش دهی خوب انجام نمیشود.
* قابل كنترل است و می توان به آن برنامه داد.
* كیفیت سطح بسیار مناسب است.
*می توان ابتدا قطعه را تولید كرد و بعد توسط پلاسما آن را سخت كرد كه باعث كم شدن هزینه ماشین كاری می شود.
*پلاسما در محیط خلاء انجام میشود، دارای بمباران یونی است كه CVD این ویژگی را ندارد. بازهم با مثالی بیان میكنم؛ شما یك شیشه روی ابر را در نظر بگیرید، اگر به شیشه فشار وارد شود از آنجایی كه سطح زیرین آن نرم است شیشه میشكند.
ما به روش پلاسما CVD می توانیم نیتروژن دهی كنیم و زیرلایه را تا حدی سخت كنیم و بعد یك پوشش سخت بر روی آن اعمال كنیم به همین خاطر شیب سختی كمتر می شود.
تبیان: جایگاه ایران و شركت خود را در زمینه پلاسما چگونه ارزیابی میكنید؟
**ایران بین 10 كشور برتر در زمینه پلاسما است ولی از انجایی كه محصول ما در ایران مشابهی ندارد نمیتوانم بگویم كه شركت در چه رتبه ای است.
تبیان: اشتغال در این زمینه چگونه است؟
**پلاسما یك زمینه جدیدی است اما به تدریج روبه رشد است، می توانم بگویم بعد از چند سال در حال حاضر فقط10 الی15 سفارش خرید به ما داده اند.
آیا مركزی را می شناسید كه از افرادی كه تحصیلات اكادمیك ندارند اما دارای ایده های خوبی هستند حمایت كند؟
تا آنجایی كه من اطلاع دارم پارك های علم و فناوری و مراكز رشد از ایده های افراد پشتیبانی میكنند.
تبیان: معایب این فناوری چیست؟
**هزینه ی اولیه بالایی دارد (مثلا ایجاد یك حمام نمك و یا یك كوره چیزی در حدود 100میلیون هزینه دارد) و اینكه به افراد متخصص نیاز است و افراد ساده نمی توانند این كارها را انجام دهند. پلاسما یك هاله یا اشعه است كه خیره شدن به آن در درازمدت مضر است.
تبیان: ارتباط فناوری نانو با پلاسما در چیست؟
**درفناوری نانو ابعاد 10 به توان 9-است و اما ارتباط كار ما با فناوری نانو این است كه پوشش هایی كه بر روی سطح ایجاد می كنیم یك زیرساختاری دارند،هرچقدر زیرساختارها ریزتر شوند كیفیت بهتر می شود و چسبندگی و استحكام نیز بیشتر می شود. در روش پلاسما CVD ساختار درشت تر و زبرتر است و چسبندگی كم می شود. در روش CVD همه چیز قابل كنترل است و مقیاس در حد میكرون است و با استفاده از مقیاس نانو در هنگام ریخته گری و یا پوشش دهی سطحی چسبندگی بیشتر می شود.
سخن پایانی...
متشكر از زحمات شما.
فائزه سیدخاموشی
بخش دانش و زندگی تبیان
دراین مطلب مصاحبه ای را با آقای مهندس سفی الله اكبری افلاكی فارغ التحصیل متالوژی دانشگاه صنعتی امیر كبیرانجام داده ایم.ایشان پس از اتمام تحصیلات کار بر روی پروژه خود در زمینه پلاسما، پوشش دهی و مهندسی سطح را آغاز کردند و مخترع دستگاه PHCVD هستند.
این دستگاه (PHCVD) یا رسوب نشانی شیمیایی از بخار به كمك پلاسما ، برای لایه نشانی نانو لوله های کربنی وهیدروژن دهی پلاسمایی مورد استفاده قرار می گیرد.
(از نانولوله های کربنی در تولید لامپ های کم مصرف، ذخیره کننده در پیل سوختی و همچنین در ساخت نانوماشین ها استفاده می شود.)
ناحیه گرمایی داخل محفظه به سه رآکتور تقسیم می گردد و اپراتور قادر است با برنامه ریزی دما، فشار ودر صورت نیاز قدرت پلاسما، لایه نشانی و ورود گازها به سیستم را برنامه ریزی کند. برای این دستگاه دو کنترل کننده گاز برای استیلین وهیدروژن در نظر گرفته شده است؛ اما این تعداد می تواند به چهار الی پنج گاز شامل گازهای آمونیاک، اکسیژن و آرگون به مجموعه اضافه گردند. درضمن سیستم مجهز به یک لوله رآکتور می باشد؛ اما در صورت درخواست مشتری امکان اضافه کردن دو لوله دیگر بصورت موازی با تیوب اولیه نیز در نظرگرفته شده است که به افزایش قابلیتهای دستگاه منجر خواهد شد.
تبیان: لطفا خودتان را معرفی كنید؟چگونه با زمینه پلاسما آشنا شدید؟
**من سفی الله اكبری افلاكی هستم، فارغ التحصیل متالوژی دانشگاه صنعتی امیر كبیر. بعد از تمام شدن تحصیلات با توجه به پروژه ای كه داشتیم و مربوط به پوشش دهی و مهندسی سطح بود با مقوله پلاسما آشنا شدیم و كارمان را با روش های محیط پلاسما شروع كردیم. با همكاری دكتر مرغوبی بحث و تحقیق در مورد صنعتی كردن نیتروژن دهی پلاسمایی آغاز كردیم. صنعتی شدن پلاسما می تواند بسیاری از مشكلات صنعتی را حل كند.
روش كار به این صورت است كه در یك محیط خلاء قطعات فولاد را قرار می دهیم و وقتی محیط خلاء می شود به وسیله اختلاف پتانسیلی كه اعمال می شود روی صفحات بمباران یونی انجام می شود و سطح قطعات سخت كار می شود كه در صنعت بسیار مهم است. كار تكمیل سطح، پوشش دهی است كه با استفاده از پلاسما انجام می شود و به سمت صنعتی كردن این كار در حال حركت هستیم.
تبیان: آیا تجارب دیگری نیز دارید؟
**بله، عملیات مهندسی سطح گسترده است و پلاسما بخش كوچكی از آن است. در زمینه سخت كاری سطحی قطعات فولادی و بهینه سازی سطح كه اكثر قطعات آن فولاد است در بحث نیتروژن دهی و محیط پلاسما بیشتر ریز شدیم و كارهای بسیاری انجام دادیم.
تبیان:كارایی دستگاه را شرح دهید.
**توضیح را با یك مثال شروع می كنم. چرخ دنده اگر كاملا سخت باشد مثل شیشه ترد است؛ یعنی اولین فشاری كه روی آن بیاید خرد می شود و اگر هم نرم باشد باعث سائیدگی می شود و عمر آن بسیار كم است. به همین خاطر پروسه های مختلفی را انجام می دهند كه مغز قطعه نرو باشد و بتواند بار را تحمل كند و سطح آن سخت باشد.
دو روش وجود دارد كه یكی از آن ها نیتروژن دهی و دیگری پوشش دهی است.با نفوذ نیتروژن به سطح قطعه و یا همچنین ایجاد یك پوشش سخت در سطح قطعه باعث می شوند كه سطح دچار سائیدگی و خوردگی نشود و مغز هم نرمی لازم را رای تحمل بار داشته باشد.
نیتروژن دهی در محیط پلاسما جدیدترین روش است كه گاز نیتروژن را یونیزه كرده و به صورت اتم درآورده و به سطح قطعه نفوذ می دهند.
در بحث پوشش دهی در بخش PHCVD، پلاسما به عنوان یك كاتالیزگر عمل كرده و دما را به زیر 500 درجه می برد كه در حالت CVD دما بالای 800 درجه است و این دما ممكن است برای بعضی از فولادها قابل تحمل نباشد. به راحتی می توان قطعات را در این دستگاه قرار داد و سطح آن را پوشش دهی كرد.
از ویژگی های بارز این پوشش دهی می توان به سختی بالا كه در صنعت به آن سختی الماسه می گویند اشاره كرد.(بسیاری از مته ها، پانچ های برش كه ورق می برند لازم است كه لبه های آن ها فوق العاده تیز باشند به همین خاطر از این پوشش ها بر روی سطح آن ها استفاده می كنند.)
این پوشش ها مانند نیترید تیتانیوم و... كه تركیبات مختلفی هستند دارای سختی و چسبندگی بالایی هستند و می توانند 10 تا 15 برابر كارایی قطعه را بیشتر كنند.
در بحث پوشش دهی در بخش PHCVD، پلاسما به عنوان یك كاتالیزگر عمل كرده و دما را به زیر 500 درجه می برد كه در حالت CVD دما بالای 800 درجه است و این دما ممكن است برای بعضی از فولادها قابل تحمل نباشد. به راحتی می توان قطعات را در این دستگاه قرار داد و سطح آن را پوشش دهی كرد
تبیان: این دستگاه در كجا به ثبت رسیده و از سمت چه مراكزی درخواست شده است؟
**این طرح در اداره ثبت اختراع ثبت شده، همچنین در سازمان پژوهش های علمی- فنی و بنیاد ملی نخبگان نیز تایید شده است.
این دستگاه از سمت پژوهشكده مهام، دانشگاه پیام مدرس، دانشگاه مالك اشتر اصفهان، دانشگاه تبریز، دانشگاه صنعتی اصفهان درخواست شده كه یا آن را خریده اند و یا در حال مذاكره هستند.همچنین می توانم به شركت الماسه ساز(در جهت ایجاد برش كاری، مته های حفاری و ...) نیز اشاره كنم.شركت نیرو محركه، سازمان انرژی اتمی نیز از جمله موارد دیگر هستند.این دستگاه در صنایع نظامی و یا در صنعت آلومینیوم نیز به كار می رود.
تبیان: ایده طرح از خود شماست؟
**ایده طرح از من نیست میتوانم بگویم كه ایده ی طرح وارداتی است.
تبیان:مشابه این دستگاه در خارج نیز وجود دارد؟
**بله،2 شركت آمریكایی و ژاپنی عینا همین دستگاه را در اختیار دارند.
اما در ایران مشابهی ندارد.
تبیان: مدت زمان كار بر روی طرح و مقدار هزینه صرف شده چقدر بوده است؟
**این دستگاه در واقع تز دكترای دكتر مرغوبی در استرالیا بود كه پس از ساخته شدن این دستگاه به ایران آمد و ما مشابه این دستگاه را تولید كردیم. این كار از سال 75 آغاز شد و میتوانم بگویم كه پیشینه 15 ساله دارد.
البته بیشترین زمان این طرح بر روی ایجاد یك محیط پلاسما صرف شده است. البته باید بگم كه اگر ما یك محیط خلاء داشته باشیم و دو الكترود درون آن قرار دهیم و اختلاف پتانسیل را اعمال كنیم، پلاسما ایجاد می شود ولی اینكه بدانیم از این پلاسما چگونه استفاده كنیم، مهم است.
هزینه ی بالایی برای این طرح صرف كردیم اما بزرگترین مشكل ما نبودن مشاوره بود و می بایست آزمون و خطاهای بسیاری داشته باشیم.
تبیان: آیا این محصول به سفارش فرد یا شركت خاصی بوده است؟
**ما اولین بار این دستگاه را به سفارش پژوهشكده مهام تولید كردیم.
تبیان: چقدر در این زمینه از شما حمایت شد؟
**درابتدا پژوهشكده مهام با خرید این دستگاه از ما و متقبل شدن تمام هزینه های آن ما را حمایت كردند.
تبیان: آیا ایده و طرح های دیگری نیز دارید؟
**سیستم محیط پلاسما در بحث پوشش دهی به قدری گسترده است كه می توان با كم و زیاد كردن یكسری از تجهیزات كارهای بسیاری را انجام داد. به اضافه اینكه در بحث CVD هم جای كار زیادی دارد كه از شیشه و پلیمر تا سطح های سخت تا را می توان به روش CVD پوشش دهی كرد. اما محصول دیگری در این زمینه تولید نكرده ایم.
تبیان:محصول شما در مقابل بقیه طرح ها چه مزایای دارد؟
**PACVD دمای پایین تری دارد،
* انرژی كمتری مصرف كرده
*گستره كاری آن زیادتر است (نسبت به CVD) PVD، خلاء خیلی بالایی می خواهد و كار كردن با آن كمی مشكل است چون فقط از یك زاویه تابش می كند قطعه باید بچرخد و مسئله چرخاندن قطعه و اینكه پوشش یكنواخت انجام شود كار مشكلی است اگر شكل قفس پیچیده باشد پوشش دهی خوب انجام نمیشود.
* قابل كنترل است و می توان به آن برنامه داد.
* كیفیت سطح بسیار مناسب است.
*می توان ابتدا قطعه را تولید كرد و بعد توسط پلاسما آن را سخت كرد كه باعث كم شدن هزینه ماشین كاری می شود.
*پلاسما در محیط خلاء انجام میشود، دارای بمباران یونی است كه CVD این ویژگی را ندارد. بازهم با مثالی بیان میكنم؛ شما یك شیشه روی ابر را در نظر بگیرید، اگر به شیشه فشار وارد شود از آنجایی كه سطح زیرین آن نرم است شیشه میشكند.
ما به روش پلاسما CVD می توانیم نیتروژن دهی كنیم و زیرلایه را تا حدی سخت كنیم و بعد یك پوشش سخت بر روی آن اعمال كنیم به همین خاطر شیب سختی كمتر می شود.
تبیان: جایگاه ایران و شركت خود را در زمینه پلاسما چگونه ارزیابی میكنید؟
**ایران بین 10 كشور برتر در زمینه پلاسما است ولی از انجایی كه محصول ما در ایران مشابهی ندارد نمیتوانم بگویم كه شركت در چه رتبه ای است.
تبیان: اشتغال در این زمینه چگونه است؟
**پلاسما یك زمینه جدیدی است اما به تدریج روبه رشد است، می توانم بگویم بعد از چند سال در حال حاضر فقط10 الی15 سفارش خرید به ما داده اند.
آیا مركزی را می شناسید كه از افرادی كه تحصیلات اكادمیك ندارند اما دارای ایده های خوبی هستند حمایت كند؟
تا آنجایی كه من اطلاع دارم پارك های علم و فناوری و مراكز رشد از ایده های افراد پشتیبانی میكنند.
تبیان: معایب این فناوری چیست؟
**هزینه ی اولیه بالایی دارد (مثلا ایجاد یك حمام نمك و یا یك كوره چیزی در حدود 100میلیون هزینه دارد) و اینكه به افراد متخصص نیاز است و افراد ساده نمی توانند این كارها را انجام دهند. پلاسما یك هاله یا اشعه است كه خیره شدن به آن در درازمدت مضر است.
تبیان: ارتباط فناوری نانو با پلاسما در چیست؟
**درفناوری نانو ابعاد 10 به توان 9-است و اما ارتباط كار ما با فناوری نانو این است كه پوشش هایی كه بر روی سطح ایجاد می كنیم یك زیرساختاری دارند،هرچقدر زیرساختارها ریزتر شوند كیفیت بهتر می شود و چسبندگی و استحكام نیز بیشتر می شود. در روش پلاسما CVD ساختار درشت تر و زبرتر است و چسبندگی كم می شود. در روش CVD همه چیز قابل كنترل است و مقیاس در حد میكرون است و با استفاده از مقیاس نانو در هنگام ریخته گری و یا پوشش دهی سطحی چسبندگی بیشتر می شود.
سخن پایانی...
متشكر از زحمات شما.
فائزه سیدخاموشی
بخش دانش و زندگی تبیان